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ABL1000气浮平台

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    ABL1000气浮平台

1专为高性能校准和装配应用设计

2分辨率达2nm的直线编码器反馈

3闭环分辨率可达1nm(使用A3200控制器)

4全预加负载气浮导轨(空气轴承)

5低噪音线性放大器

6全部非接触设计

行程≤150mm

精度±0.20um

重复定位精度±0.05um

直线度±0.25um

平面度±0.25um

更多技术内容及应用请咨询销售工程师程健186(1288)599

 
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